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什么是MEMS传感器及分类

时间:2018-12-06 20:19 来源:澳门永利娱乐

在微电子技术高速发展的浪潮中,MENS传感器的应用也广泛起来。例如气体成分检测、3D定位技术、特殊环境的参数监测等应用。
MEMS是微型电子机械系统,MEMS传感器采用微机械加工技术制造的新型传感器,属于MEMS器件的重要分支。
依赖MEMS技术传感器的技术特点
1、微型化 ,其芯片尺寸基本为纳米与微米级别。
2、多样化,主要在其工艺、应用领域及材料方面多样化。
3、集成化,在功能、敏感方向不同的多个传感器集成形成阵列与系统。
4、批量化,适合大批量生产,成本不高。
5、尺寸相应现象,由于尺寸缩小也会有些影响,如尺寸效应、微摩擦学、微构造学、微热力学等。
什么是MEMS传感器及分类
一些典型的MEMS传感器
1、MEMS压力传感器。其发展迅速,应用广泛。基本上它的敏感元件为硅膜片,根据机理不同可将MEMS压力传感器分为三种形式,分别是压阻式压力传感器、电容式压力传感器、谐振式压力传感器。
2、MEMS加速度传感器。根据原理可分压阻式、压电式、电容式、热电偶式、光波导式等MEMS加速度传感器,可应用最为广泛的还属于电容式加速度传感器。
3、MEMS陀螺仪。利用科里奥效应测量运动物体的角速度,根据科里奥效应,在三维直角坐标中,物体沿X轴正方向运动且施加角旋转速率物体就会收到Y轴负方向的力,最后可根据电容感应结构可测量出科里奥效应产生的物理位移。其有微型化、高性能、易于制造等优点,广泛应用于医疗仪器、消费电子等领域。

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